هدف أسطواني دوار من التيتانيوم

إنه مكون يستخدم في عمليات الترسيب البخاري الفيزيائي (PVD)، وهي طريقة لترسيب أغشية رقيقة من المواد على ركيزة. يتكون هدف أنبوب التيتانيوم من التيتانيوم النقي ويشبه الأسطوانة التي تدور أثناء عملية الترسيب البخاري الفيزيائي.

تعمل عملية الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) باستخدام قوس كهربائي أو رش مغناطيسي لتبخير المادة المستهدفة، في هذه الحالة التيتانيوم، وترسيبها كطبقة رقيقة على ركيزة. تسمح الأسطوانة الدوارة المستهدفة بترسيب أكثر اتساقًا لطبقة التيتانيوم على الركيزة.

تتضمن فوائد الاستخدام في عمليات الترسيب الفيزيائي للبخار نقاءً عاليًا للفيلم المترسب ومعدل ترسيب مرتفع وتحسين التصاق الفيلم. إن الأهداف الدوارة المصنوعة من التيتانيوم للرش المغناطيسي مصنوعة من مادة التيتانيوم عالية الجودة ومصممة لتحمل درجات الحرارة العالية والضغوط الميكانيكية أثناء عملية الترسيب الفيزيائي للبخار.

مقدمة المواصفات

نوع الحجم العادي:

منفعتنا

تتميز أهداف التيتانيوم التي نوفرها بحبيبات صغيرة وتوزيع موحد ونقاء عالي وشوائب قليلة ونقاء عالي. يتم استخدام فيلم TiN المترسب في الديكور والأدوات وأشباه الموصلات وغيرها من المجالات، مع التصاق جيد وطلاء موحد وألوان زاهية.

--النقاء

لإنتاج هدف رش التيتانيوم المؤهل، فإن النقاء هو أحد مؤشرات الأداء المهمة. إن نقاء هدف التيتانيوم له تأثير كبير على أداء طلاء الرش. فكلما زادت نقاء هدف التيتانيوم، قل عدد جزيئات عنصر الشوائب في فيلم التيتانيوم المرشوش، مما يؤدي إلى أداء طلاء PVD أفضل، بما في ذلك مقاومة أفضل للتآكل وخصائص كهربائية وبصرية. ومع ذلك، في التطبيقات العملية، فإن أهداف التيتانيوم لأغراض مختلفة لها متطلبات مختلفة للنقاء. تُستخدم مادة الهدف كمصدر للكاثود في الرش، وعناصر الشوائب وشوائب المسام في المادة هي مصادر التلوث الرئيسية للفيلم المترسب. سيتم إزالة شوائب المسام بشكل أساسي أثناء الاختبار غير المدمر للسبائك، وستتسبب شوائب المسام التي لم تتم إزالتها في التفريغ أثناء عملية الرش، مما يؤثر على جودة الفيلم؛ لا يمكن أن ينعكس محتوى عناصر الشوائب إلا في نتائج اختبار تحليل العناصر الكامل، فكلما انخفض محتوى الشوائب الإجمالي، زادت نقاء هدف التيتانيوم.

--الكثافة

تعتبر الكثافة أيضًا عاملًا مهمًا في قياس جودة أهداف التيتانيوم. من أجل تقليل المسامية في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين أداء الفيلم المرشوش، عادةً ما يكون الهدف مطلوبًا أن يكون له كثافة أعلى.

لا تؤثر كثافة الهدف على معدل الرش فحسب، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم. وكلما زادت كثافة الهدف، كان أداء الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك، فإن زيادة كثافة وقوة الهدف تسمح للهدف بتحمل الإجهاد الحراري بشكل أفضل أثناء الرش. تعد الكثافة أيضًا أحد مؤشرات الأداء الرئيسية للهدف.

--حجم الجسيمات وتوزيعها

عادةً ما تكون أهداف الرش عبارة عن هياكل متعددة البلورات بأحجام حبيبات تتراوح من عدة ميكرومتر إلى عدة ملليمترات. بالنسبة لنفس الهدف، كلما كان حجم جسيم الهدف أصغر، زادت سرعة رش الهدف؛ بالإضافة إلى ذلك، يمكن للهدف الذي يحتوي على اختلاف أصغر في حجم الجسيمات رش فيلم بسمك أكثر تناسقًا. وجدت الدراسة أنه إذا تم التحكم في حجم حبيبات هدف التيتانيوم إلى أقل من 100 ميكرومتر، وتم الحفاظ على اختلاف حجم الحبيبات في حدود 20٪، فيمكن تحسين جودة الفيلم المرشوش بشكل كبير.

--الاتجاه البلوري

يتمتع التيتانيوم ببنية سداسية متقاربة. نظرًا لأن ذرات هدف التيتانيوم يتم رشها بسهولة على طول اتجاه الرش السداسي المتقارب للذرات أثناء الرش، ومن أجل تحقيق معدل رش أعلى، يمكن تغيير البنية البلورية للهدف عن طريق تغيير الطريقة. لزيادة معدل الرش. كما أن الاتجاه البلوري لهدف التيتانيوم له تأثير كبير على اتساق سمك الفيلم المرشوش.

--التوحيد البنيوي

يعد التوحيد البنيوي أيضًا أحد المؤشرات المهمة لفحص جودة الهدف. بالنسبة للأهداف المصنوعة من التيتانيوم، لا يلزم فقط مستوى الرش للهدف، بل يلزم أيضًا تكوين الاتجاه الطبيعي واتجاه الحبوب وتوحيد حجم الحبوب المتوسط ​​لمستوى الرش. بهذه الطريقة فقط، يمكن للهدف المصنوع من التيتانيوم الحصول على فيلم تيتانيوم بسمك موحد وجودة موثوقة وحجم حبيبات ثابت في نفس الوقت أثناء فترة خدمته.

حالة المواصفات

سرعة الدوران: يجب أن يكون الهدف قادرًا على الدوران بسرعات تصل إلى عدة آلاف من الدورات في الدقيقة لتحقيق معدل ترسب أكثر اتساقًا وإطالة عمر الهدف.

التبريد: يجب تبريد هدف أنبوب التيتانيوم بالماء لتبديد الحرارة المتولدة أثناء عملية الترسيب ومنع تلف الهدف.
لوحة الدعم: تُستخدم لوحة الدعم المصنوعة من التيتانيوم عادةً لدعم هدف الأسطوانة الدوارة وتوفير الاتصال الكهربائي.
طريقة الترابط: يتم عادةً ربط الهدف باللوحة الداعمة باستخدام الترابط الانتشاري أو طرق الترابط عالية القوة الأخرى لضمان التوصيل الحراري والكهربائي الجيد.
النقاء: يجب أن تتمتع الأهداف الدوارة المصنوعة من التيتانيوم المستخدمة في الرش المغناطيسي بمستوى عالٍ من النقاء لتقليل الشوائب في الأغشية المترسبة وضمان الأداء المتسق. يجب أن يكون مستوى الشوائب أقل من 1000 جزء في المليون (ppm) لمعظم التطبيقات.

بشكل عام، تختلف مواصفات هدف الأسطوانة الدوارة المصنوعة من التيتانيوم اعتمادًا على متطلبات التطبيق المحددة، ويمكن تخصيص الهدف لتلبية هذه الاحتياجات.

الوسم : أهداف دوارة من التيتانيوم للرش المغناطيسي، هدف أنبوب التيتانيوم